bevictor伟德官网-科学家实现先进光刻胶精确可控制备和光刻验证—新闻—科学网

美国约翰霍普金斯年夜学传授迈克尔 萨帕希斯（Michael Tsapatsis）、华东理工年夜学副传授庄黎伟领衔的国际互助团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的要领，实现了可控的薄膜沉积速度及厚度（几纳米到几百纳米），并举行了电子束光刻（EBL）及逾越极紫外光刻（Beyond EUVL）验证。相干研究近日发表在《天然-化学工程》。

最近几年来，aZIF薄膜被用作进步前辈光刻胶。实现aZIF薄膜厚度及构成的年夜面积、高精度可节制备，对于相干范畴的进步前辈光刻工艺具备主要意义。

于前期基在超稀释先驱体溶液赋能化学液相沉积法制备aZIF薄膜的计谋的基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新要领。颠末系列试验及仿真，研究团队获得了薄膜沉积的本征速度，并展现了薄膜沉积匀称性的要害影响因素。

进一阵势，研究团队使用该化学液相沉积要领，制备了锌/2-甲基咪唑，锌/苯并咪唑、锌/4,5-二氯咪唑及钴/2-甲基咪唑等多种aZIF薄膜，并对于aZIF薄三木SEO-膜作为正型光刻胶及负型光刻胶的图案化机能举行了测试。此外，研究团队试验验证了aZIF薄膜作为光刻胶于下一代光刻技能中运用的可行性。